- 支持多款COC自动测试
- 支持外部程序接口做二次开发
- 支持稳定读取芯片SN编号
- LIV测试环节采用积分球收光，有效保障测试重复性
- 光谱测试采用准直透镜收光结构，提升光谱数据采集的准确性
- TEC温度控制系统升降温速度快且稳定性强，同一芯片重复测试时阈值电流Ith变化＜0.8%，输出功率Po变化＜0.5%
|
主要技术参数 |
|
|
芯片温度设置范围 |
支持20-80℃（可调节） |
|
温度精确度 |
±0.1℃ |
|
温度稳定性 |
±0.1℃ |
|
LD电流范围 |
0-500mA（可调节） |
|
LD电流精确性 |
0.2% |
|
LD电流稳定性 |
0.2% |
|
LD钳制电压 |
15V以上 |
|
LD电压测量范围 |
至少0~15V |
|
LD电压测量精确性 |
0.3% |
|
功率范围 |
0-200mW |
|
功率分辨率 |
0.1% |
|
功率稳定性 |
1% |
|
功率重复性 |
<±1% |
|
阈值电流重复性 |
<±0.5% |
|
I/V源分辨率 |
2pA/100nA |
|
I/V测量分辨率 |
100fA/100nA |
|
测试波长光谱范围 |
900-1700nm |
|
波长扫描速率 |
1000hz及以上 |
|
波长重复性 |
<±0.05nm |
|
SMSR重复性 |
<5dB |
|
测试兼容性 |
支持DC测试 |
|
芯片耦合位电动轴最小分辨率 |
50nm |
|
芯片耦合位电动轴重复定位精度 |
±0.2μm |
|
支持Fiber耦合 |
√ |
|
测试结果实时显示 |
√ |
|
手动控制Prober |
√ |
|
空间布局兼容DC探针卡 |
√ |
|
设备保护 |
①每路独立供电元件都有断路保护器，可以防止各独立设备发生短路及过载时损坏其他设备 ②用户可选配UPS ③设备具有安全联锁EMO急停功能 |
