本文对采用355nm和266nm波长激光在不同参数下切割蓝宝石衬底的效果进行比较，对如何取得好的切割效果和表面质量进行研究，实验结果表明266nm激光更加适合进行蓝宝石衬底的切割，并且给出了获得更好的加工后表面质量的方法。
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