Palomar 8000高速自动打线机是一款全自动金线键合机,可以根据需要在一个封装内完成多种形式的引线键合,包括复杂的混合电路、MEMS器件及其它高可靠性器件。可以做深腔近壁打线,还可以省略二次墩平工艺制作高度小于30um的凸点。凸点高度的一致性可达±2um,采用自动键合时可以每秒钟完成10个左右凸点的制作。
打线类型 | 金丝球焊和键合线焊 |
循环时间 | 0.147 sec / wire, 每秒最多7根线 |
线距 | 70 um (采用25.4 um 金线) |
放置精度 | +/- 5 um |
X/Y 工作台
工作范围 | 300 x 150 mm (12 x 6 inches) |
分辨率 | 0.20 um |
重复性 | 好于 +/- 5 um |
控制系统 | 线性电机驱动 |
金线
线轴直径 | 50.8 mm (2.0 in.), 可用双盘线轴 |
线轴宽度 | 25.4 mm to 50.8 mm (1.0 to 2.0 in.) |
金线直径 | 17.7 to 50.8 um (0.7 to 2.0 mil) |