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产品信息

IX-260 LED激光划片剥离机

IX-260 LED激光划片剥离机 点击查看大图

IX-260 ChromAblate® LED激光划片剥离机为紫外与深紫外准分子激光加工系统,激光微加工精度高达2μm以内。IX-260系统包括电脑控制的功率计、加工与检查显微镜。IX-260的软件功能强大,使用简便,可以使用宏命令进行无限制次数的加工流程。

紫外激光以一种称为光剥离(photo ablation)的工艺切削材料。连续、高速重复的激光脉冲切削微小、可控制的材料量。在对转角加工要求较高的应用中,通常用带掩膜的受激准分子激光。生物医学设备通常工作在细胞水平,这意味着它们的构件孔、通道和其它零部件都是极小的。JPSA所加工的孔径一般在1微米到数百微米之间。孔径和相关尺寸的公差也在微米级就不奇怪了。尽管材料厚度通常不超过2mm,但孔的深径比通常相当大。

JPSA与美国麻省理工学院合作创造一种用于药物治疗研究的新型肝脏芯片生物反应器。这种聚酰亚胺器件采用受激准分子激光系统加工。每个300平方微米的平板上有25个穿透的孔,共20平方微米,这些孔使得该器件可以模拟血流。

受激准分子激光用于打盲孔是非常有效的。由于脉冲间稳定性很高,用受激准分子激光打盲孔或开凿微米级槽,其深度和宽度的精度为±3微米(某些时候可以达到亚微米精度)。这种精确的深度控制还使得受激准分子激光可以在针的一侧打孔或做椭圆形。采用深度控制方法,即使采用激光在针的一侧打孔,也不会影响针的另一侧。也可以用于去除选定的物质,例如,从涂层导管上去除指定部分的塑料,但不损坏塑料下面的金属。

  • 波长多样化:157nm、193nm、248nm与351nm等多种紫外与深紫外加工波长可选;功率可达20W,重复频率可达1kHz
  • 设计紧凑:占用空间小,采用I类激光封闭式结构
  • 模块化:可以很简便的构造模块化的光束传输系统用于激光光刻或者大面积加工
  • 显微观察系统:包括加工监控显微镜与高倍数检查显微镜
  • 高加工精度:充气工作平台上的线性电机保证微加工精度高达2μm以内,零件承载平台精确定位
  • 大工作范围:X-Y轴行程范围 150mm x 150mm,Z轴行程范围 10mm
  • LED划片和剥离生产
  • 3D微加工
  • 微型钻孔
  • 喷墨嘴加工
  • 盲孔加工
  • 微流体器件加工
  • 薄膜图案化
  • MEMS微机械加工
  • 选择性材料剥离
IX-260
电话:86 27 87807925, 86 21 61436238, 86 755 83015356        邮箱:sales@etsc-tech.com
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