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EUV/XUV光学元件
X射线图
NTT-AT公司的X射线分辨率评估图被应用于X射线显微镜、X射线微光束分析和X射线成像等需要超高分辨率的X射线分析。并广泛应用于世界上许多企业、大学和研究所。NTT-AT公司的X射线图的最大特点是高耐X射线辐射性、超清晰图案和低边缘粗糙度。它是基于Ta吸收体图的SiC膜极其精确,能为用户的X射线分析系统评估提供清晰的图像。
产品特点
有三种X射线图可应用于各种方面:标准型、高分辨率和高对比度型以及超高分辨率型。可为用户的系统定制图案布局和基板尺寸。
参数
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